产品描述


工艺气体专用过滤器


? 世界唯一采用不锈钢短纤维制成的金属膜过滤器。

? 压力损失低,可实现除微粒性能。

? 适用于100SLM以下流量,可用于各种工艺气体。


大宗气体专用


? 过滤器介质形状制成皱褟状,高流量也可实现低压力损失。

? 全金属材料,可高温焙烤。

? 适用于较大3000Nm3/h的大流量。


仪器保护专用过滤器


? MFC、阀门、稳压器等仪器保护专用过滤器。

? 根据使用条件,可选择低压型或高压型。

? 也可在现有配管上安装。


IGS面板专用过滤器


? 聚集型气体面板专用过滤器,适用于1.125W-Seal、1.125C-Seal及1.5W-Seal。

? 通过采用皱褟型介质,实现了小型化。

? 采用机械密封,结构上与介质无焊接。


扩散器专用过滤器


?采用皱褟型介质,可高气。

?防止微粒混入,帮助提高产品合格率。

?可根据安装空间进行设计。



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